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  • CMP  化学抛光液

化学抛光液

喜百事化学抛光液要达到最精细的工件表面光洁度,在最后的抛光工序上便要选用最优质的化学抛光液。Engis的喜百事化学抛光液选用纳米级的硅微粉(SiO2)作物理抛光(Mechanical Polishing)原料,配合不同化学特性的抛光剂作为化学抛光(Chemical Polishing)的界面,能强化整个化学物理抛光(Chemical-Mechanical-Polishing,CMP)的工作效率,及有效地去除物料表面因精磨而留下的极浅划痕。


适用范围:芯片晶圆
                    光学晶体/玻璃
                    精密模具
                    微电元件
                    读写磁头及记忆元件

产品编号
HCL-20
HCL-XL
HCL-80
HCL-OL
比重(20℃)
1.12-1.14
1.29-1.32
1.29-1.32
1.12-1.14
pH值(20℃)
9.5-10.0
9.0-10.0
9.5-10.0
2.0-4.0
硅微粉含量(wt%)
20-21
40-41
40-41
20-21
微粉粒度(nm)
20
40-60
60-80
40-50
应用
一般抛光使用
粉粒金属模具使用
快速切削使用
超硬材料抛光使用

也可以提供120nm粒径的抛光液。

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