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行业新闻

GaN 氮化镓加工

Trinity-Y
GaN 研磨.精磨.CMP機台

  • 三機一體式,多功能精磨系統

  • 為滿足下一代材料「寬能隙半導體」製程應用而設計

  • 多工序、精簡設計,節省空間, 可彈性調整滿足客戶特定製程需求,整合成一套系統

    Multi-phase-lapping-system-Trinity-Y-prsfr2nl0h9c6ulh49veivl153epf1ia0jq70u50ey.png

  • 先進晶圓用之新設計與技術整合
    Trinity-Y First

  • 立式減薄磨床

  • Trinity-Y-First_Vertical-grinding-machine-精磨-prsfr2nl0h9c6ulh49veivl153epf1ia0jq70u4yve.jpg

  • 平面研磨

  • Lapping_facing-machine-精拋-prsfr2nl0h9c6ulh49veivl153epf1ia0jq70u4yve.jpg

  • CMP拋光機

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