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氮化铝ALN加工中用到钻石液，铜盘，氧化铝抛光粗抛，精抛液，抛光垫等耗材；
加工精度可以达到小于10nm。
ALN 氮化铝 加工用钻石液 抛光液 抛光垫
碳化硅SIC专用抛光液PA2004
engis悬浮型 抛光液
CMP 化学抛光液
公 司：EMC易倍科技（上海）有限公司
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